Istraživači tvrtke ASML Holding tvrde kako su pronašli način za povećanje snage izvora svjetlosti u ključnom stroju za proizvodnju čipova kako bi do kraja desetljeća omogućili povećanje proizvodnje čipova za do 50 posto. ASML je jedini svjetski proizvođač komercijalnih strojeva za ekstremnu ultraljubičastu litografiju (EUV).

Cilj im je nadmašiti sve potencijalne konkurente poboljšanjem tehnološki najizazovnijeg aspekta strojeva. To je potraga za generiranjem EUV svjetla s pravom snagom i svojstvima za proizvodnju čipova u velikim količinama.

Istraživači tvrtke pronašli su način kako povećati snagu EUV izvora svjetlosti na 1000 vata sa sadašnjih 600 vata. Veća snaga znači mogućnost proizvodnje više čipova svaki sat, što pomaže u smanjenju troškova.

Čipovi se ispisuju slično kao fotografija, gdje se EUV svjetlo usmjerava na silicijsku pločicu presvučenu posebnim kemikalijama (fotorezist). S snažnijim EUV izvorom svjetlosti, tvornicama čipova potrebna su kraća vremena ekspozicije.

Do kraja desetljeća bi trebalo biti moguće obraditi oko 330 silicijskih pločica na sat na svakom stroju, u odnosu na sadašnjih 220. Ovisno o veličini čipa, svaka pločica može sadržavati od desetaka do tisuća uređaja.

Kako bi proizveo svjetlost valne duljine 13,5 nanometara, ASML-ov stroj ispaljuje mlaz rastaljenih kapljica kositra kroz komoru, gdje ih masivni laser ugljikovog dioksida zagrijava u plazmu. Kapljice kositra postaju toplije od Sunca i emitiraju EUV svjetlost, koju zatim prikuplja precizna optička oprema njemačke tvrtke Carl Zeiss AG i uvodi u stroj za ispis čipova.

Ključni napredak uključivao je udvostručenje broja kapljica kositra na oko 100 tisuća svake sekunde i njihovo oblikovanje u plazmu pomoću dva manja laserska bljeska, umjesto današnjih koji koriste jedan.U ASMČ-u vide put do 1500, pa i do 2000 vata.